高精度的平面电动机

日本千叶(CHIBA)精度电机公司研制的高精度平面电动机，为超准确定位提供了新的解决途径。该平面电动机结构非常紧凑，并且有超高的分辨率以及很高的速度。其标准的技术指标如下：外形尺寸为120mm×120mm×25mm；分辨率10nm；定位精度100nm；最大速度100mm／s；移动范围10mm×10mm；牵引常数2．5N／A。