薄膜-基底的几个力学问题被引量：8

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摘要本文介绍了近年微电子薄膜-基底组件的几个力学问题:连接件边界及端部的应力集中和应力奇异性;不同薄膜-基底和界面的组合与相应的破坏模式和力学分析,薄膜与界面的力学参量的测试方法,文末提出了薄膜-基底组件的几个需要进一步研究的力学问题.

作者余寿文

机构地区清华大学

出处《力学与实践》 CSCD 北大核心 1993年第4期1-8,共8页 Mechanics in Engineering

关键词薄膜基底薄膜力学界面力学

参考文献3

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力学与实践

1993年第4期

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