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两种方式瞬间切换的纳米研究显微镜

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摘要 日本成功地开发出即可完成从毫米级到纳米级观察的SFr-3500纳米研究显微镜,主要用于半导体制造的异物检查、金属和绝缘体等表面测定。
作者 W.RJ
出处 《军民两用技术与产品》 2004年第10期31-31,共1页 Dual Use Technologies & Products
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