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两种方式瞬间切换的纳米研究显微镜
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摘要
日本成功地开发出即可完成从毫米级到纳米级观察的SFr-3500纳米研究显微镜,主要用于半导体制造的异物检查、金属和绝缘体等表面测定。
作者
W.RJ
出处
《军民两用技术与产品》
2004年第10期31-31,共1页
Dual Use Technologies & Products
关键词
显微镜
SF
异物
观察
检查
测定
表面
纳米研究
绝缘体
金属
分类号
V512 [航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程]
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
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军民两用技术与产品
2004年 第10期
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