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台式微机械激光加工系统
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摘要
New Wave Research公司研制成功一种Laser Mill型台式Nd:YAG激光微机械加工机。该加工机适用于大学和工业用户进行科学研究、样机试制、初步小规模开发和小规模生产。在加工微电机械系统(MEMS)、生物医学、半导体、生命科学和其他器件用有机和无机材料中,Laser Mill具有转换波长操作的特点。其应用范围从钝化、聚酰亚胺清除、片上实验室生产到喷嘴和孔口。
出处
《光机电信息》
2004年第11期37-37,共1页
OME Information
关键词
微机械
Research公司
微电机械系统
激光加工
半导体
MEMS
器件
台式
试制
钝化
分类号
TH-39 [机械工程]
TG43 [金属学及工艺—焊接]
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