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台式微机械激光加工系统

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摘要 New Wave Research公司研制成功一种Laser Mill型台式Nd:YAG激光微机械加工机。该加工机适用于大学和工业用户进行科学研究、样机试制、初步小规模开发和小规模生产。在加工微电机械系统(MEMS)、生物医学、半导体、生命科学和其他器件用有机和无机材料中,Laser Mill具有转换波长操作的特点。其应用范围从钝化、聚酰亚胺清除、片上实验室生产到喷嘴和孔口。
出处 《光机电信息》 2004年第11期37-37,共1页 OME Information
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