硅片电解动态修整镜面磨削

介绍一种获得镜面的磨削方法。这种方法采用电解动态修整与亚微级金刚石铸铁结合剂砂轮,能在一般磨床或切削机床上作稳定镜面磨削。已开始用于研磨与抛光。介绍新方法特点、动向,以及应用于硅片镜面磨削的优点。