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哈工大研制出新型机器人
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摘要
“十五”期间,“863”计划机器人主题项目成果丰硕。由哈工大研制的7项新型机器人项目,其中纳米超精密加工机器人,许多精密操作要求达到几个到几十纳米的精度,也就是相当于常人头发丝粗细的千分之一的操作精度。研究的一种利用单脉冲放电的微细电极快速制备技术,目前已实现100nm半径的针尖制作,该方法有望成为一种廉价,实用的探针制备手段。
出处
《机床与液压》
北大核心
2004年第12期70-70,共1页
Machine Tool & Hydraulics
关键词
机器人
精度
制作
操作
“863”计划
超精密加工
半径
单脉冲放电
微细电极
分类号
TH742.9 [机械工程—光学工程]
TP242 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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机床与液压
2004年 第12期
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