摘要
用 Ta2 O5/ Si O2 膜系镀制了石英窗口增透膜。并在优化膜系 ,改进膜厚控制后 ,使得 1 31 5nm波长单面剩余反射率降到 0 .0 5%。
After optimizing the design of the thin films and improving the control methods of film thickness , we have coated the anti-reflection film based on the quartz by Ta 2O 5/SiO 2,and get the good result:R 1315 <0.05%.
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第B11期80-82,共3页
High Power Laser and Particle Beams
基金
国家863激光技术领域资助课题! (86 3410 -4 -0 2 )
关键词
增透膜
优化膜系
anti-reflection film
optimization of the design of the thin fit
