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半导体气敏元件的结构及制作工艺 被引量:2

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摘要 本文对不同类型气敏元件的结构和制作工艺进行了分析对比,并总结归纳出各自的性能特点。实验证明,气敏元件的制作工艺是影响元件性能的至关重要的因素。对元件 结构和制作工艺的深入探讨,有助于我们开发性能更加优良的气敏元件。
出处 《气象水文海洋仪器》 2000年第1期22-24,共3页 Meteorological,Hydrological and Marine Instruments
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参考文献1

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同被引文献6

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