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再论世界半导体设备的进展
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摘要
在今天,己经没有人再怀疑集成电路,即半导体技术是推动信息时代前进的原动力。现代高科技的核心与美、日、韩国及我国台湾地区经济的起飞,无不都是从抓半导体工业开始。
作者
莫大康
出处
《集成电路应用》
2002年第9期5-8,共4页
Application of IC
关键词
半导体设备
集成电路
摩尔定律
光刻技术
刻蚀
淀积
市场分析
分类号
TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]
F407.63 [经济管理—产业经济]
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集成电路应用
2002年 第9期
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