桑迪亚制出世界上第一个金刚石微机械

美国桑迪亚国家实验室由非晶金刚石表面腐蚀制出了据信是世界上第一个微机械——金刚石梳状驱动(器)，1mm^2器件有2排金刚石梳(制作在一平的表面上)，齿间有一定间距。一排“梳”向下栓接，另一排可在一封闭弹簧内自由移动。一金刚石“杆”连接在可移动梳的脊上。当正负电压周期性重复加到“梳”上时，齿就重复地连接、推开，这就使“梳”向前?后移动并作功，就像驱动一个齿轮或活塞。