摘要
本文报道用化学汽相沉积法生长硒化锌多晶过程中尾气处理的方法。此法可将硒化锌多晶生长过程中产生的硒化氢毒气由10%(体积比浓度)一次降至2×10^(-3)wt-%以下。
In this paper the method of exhaust treament during the growthprocess of ZnSe using CVD is reported.This H_2Se in theexhaust from 10% (volume ratio) to less than 10^(-5) wt-%.
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
1993年第1期106-108,共3页
Journal of Synthetic Crystals