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硒化锌多晶生长过程中尾气处理的研究

Resarches on the Exhaust Treament during the Growth Process of Polycrystal ZnSe
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摘要 本文报道用化学汽相沉积法生长硒化锌多晶过程中尾气处理的方法。此法可将硒化锌多晶生长过程中产生的硒化氢毒气由10%(体积比浓度)一次降至2×10^(-3)wt-%以下。 In this paper the method of exhaust treament during the growthprocess of ZnSe using CVD is reported.This H_2Se in theexhaust from 10% (volume ratio) to less than 10^(-5) wt-%.
作者 曹海波
机构地区 人工晶体研究所
出处 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 1993年第1期106-108,共3页 Journal of Synthetic Crystals
关键词 硒化锌 化学汽相沉积 尾气处理 ZnSe CVD exhaust treatment
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参考文献1

  • 1童志权,工业废气污染控制与利用,1989年

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