OnWafer面向工艺控制推出“无线掩膜”

为基于晶圆的半导体制造工艺控制提供传感器的OnWafer科技公司日前宣布进入光掩膜市场，已向掩膜公司、掩膜设备OEM和扫描仪设备OEM推出所谓的Mask Temp Sensor Plare无线传感器。