薄膜卡盘的设计研究

为了提高薄膜卡盘的设计水平,本文阐述了薄膜卡盘剪力和薄膜厚度的线性变化对卡紧力的影响,推荐了薄膜盘厚度变化角β的最佳值以及薄膜盘内外半径的比值范围。