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延续摩尔定律 光刻技术在现代CPU制造中的应用

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摘要 90nm制程CPU的大量面世让摩尔定律的神话再次得以延续。在这支神奇魔棒的指挥下,从0.25μm,0.18μm到现在的90nm甚至是65nm制程CPU中晶体管的集成数量以几何级数增长.与之相随的则是制造工艺的不断改进、而其中光刻技术则是延续摩尔定律的关键所在。
作者 孤云
出处 《微型计算机》 北大核心 2005年第2期124-127,共4页 MicroComputer
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