摘要
本发明涉及半导体或金属、液晶的清洗方法,具体涉及电子工业用清洗剂。其组成为:5%~10%脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠,10%~20%壬基酚聚氧乙烯醚,10%~15%椰子油酰二乙醇胺或烷基醇酰胺磷酸酯,1%~10%乙二醇烷基醚,5%~10%直链或支链低级脂肪醇,0.1%~0.2%,络合剂,1%~4%聚醚及余量去离子水。本发明的清洗剂能代替氟里昂清洗剂,无毒无腐蚀性。不污染环境,不破坏高空臭氧层,不引起温室效应,并可降低清洗成本。
出处
《电镀与涂饰》
CAS
CSCD
2005年第1期85-85,共1页
Electroplating & Finishing