期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息

MEMS模拟仿真研究和发展现状 被引量：3

Research for modeling and simulation of MEMS and its development
下载PDF
导出
摘要 介绍微机电模拟和仿真的一些基本特点 ,概括MEMSCAD的体系结构 ,以及等效电路法建立宏模型的方法和用ANSYS进行耦合场分析 ,并指出今后有待研究的几个问题。 Introduce the primary contents and characteristics of modeling and simulation of MEMS.And then,summarize structure system of MEMS CAD and especially introduce how to build macro-model with equivalent-circuit and analyze field-coupling with ANSYS.In the end,point out some problems that need researching in the future.
作者 徐炎冰 范真 丁建宁 李长生 凌智勇
机构地区 江苏省镇江市江苏大学校本部
出处 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2004年第12期116-118,共3页 Modern Manufacturing Engineering
关键词 MEMS CAD 系统级仿真 耦合场 宏模型 MEMS CAD System-level simulation Field-coupling Marco-model
分类号 TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
  • 相关文献

参考文献5

  • 1Barelomiei F. Romaowicz. METHODOLOGY FOR THE MODELING AND SIMULATION OF MICROSYSTEMS. Kluwer Academic Publishers,2002
  • 2格雷戈里T.A.科瓦奇著,张文栋等译.微传感器与执行器全书.北京:科学出版社,2003
  • 3Senturia S D, Aluru N, White J. Simulating the behavior of MEMS device:Computional method and needs [ J]. IEEE Computational Science and Engineering, 1997,4( 1 )
  • 4孙道恒,黄元庆,郑炜,朱立秒,李文望.MEMS系统级仿真建模理论与方法的研究[J].厦门大学学报（自然科学版）,2001,40(2):297-302. 被引量：7
  • 5季国顺,张永康.微机械系统建模与仿真技术研究[J].光学精密工程,2002,10(6):626-631. 被引量：8

二级参考文献26

  • 1李路明,王立鼎.MEMS研究的新进展——微型系统及其发展应用的研究[J].光学精密工程,1997,5(1):67-73. 被引量：18
  • 2Andrzej P. Integrated multidisciplinary CAD/CAE environment for micro-electro-mechanical systems (MEMS)[J]. SPIE,1999,3680(I):432-439.
  • 3李炳乾.MEMS谐振器件及其相关理论研究[D].西安交通大学,2001.
  • 4Cai X,Yie H,Osterberg P, et al.Relaxation/multipole-accelerated scheme for self-consistent electromechanical analysis of complex 3-D micromechanical structures[A]. Proceedings of the 1993 IEEE/ACM International Conference on Computer-Aided Design[C],1993,283-286.
  • 5Aluru N R ,White J.Efficient numerical technique for electromechanical simulation of complicated microelectromechanical structures[J].Sensors and Actuators A:Physical,1997,58(1):1-11.
  • 6Aluru N R,White J.Multi-level Newton method for static and fundamentak frequency analysis of electromechanical systems[A]. International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices, SISPAD[C]. 1997,125-128.
  • 7Aluru N R,White J.Coupled numerical technique for self-consistent of micro-electro-mechanical-systems[A]. American Society of Mechanical Engineers[C], Dynamic Systems and Control Division,1996,59:275-280.
  • 8Urahama K.Convergence properties of waveform relaxation-newton method[J]. Fundamental Electronic Science,1989,72(8):108-115.
  • 9Senturia S D,Aluru N,White J.Simulating the behavior of MEMS device:Computational method and needs[J].IEEE Computational Science and Engineering ,1997,4(1):30-43.
  • 10Pan J Y ,Lin P,Maseeh F,et al. Verification of FEM analysis of load-defection method for measuring mechanical properties of thin films[J]. IEEE Solid-State Sensor and Actuator Workshop,1990,70-74.

共引文献13

同被引文献12

引证文献3

二级引证文献6

现代制造工程
2004年 第12期

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部