微光机电系统在军事和民用领域的应用与展望

Application and Prospect of MOEMS in Military and Civil Areas

微光机电系统(MOEMS)是近几年在微机电系统(MEMS)中发展起来的一支极具活力的新技术系统,它是由微光学、微电子和微机械相结合而产生的一种新型的微光学结构系统。MOEMS是一种可控的微光学系统,该系统中的微光学元件在微电子和微机械装置的作用下能够对光束进行汇聚、衍射和反射等控制,从而可最终实现光开关、衰减、扫描和成像等功能。该系统把微光学元件、微电子和微机械装置有机地集成在一起,能够充分发挥三者的综合性能,不仅能够使光学系统微型化而降低成本,而且可实现光学元件间的自对准,更重要的是这种组合还会产生新的光学器件和装置。MOEMS的出现将极大地促进信息通信、航天技术以及光学工具的发展,对整个信息化时代将生产深远的影响。