用于基片电镀铜的方法

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摘要本发明提一种用于基片上电镀铜的方法，该方法使用在酸性铜电镀槽中不溶解的阳极，以及单独引入所消耗的铜离子，其特征是，在不用隔膜和辅助电解液的情况下，

出处《世界有色金属》 2004年第12期71-71,共1页 World Nonferrous Metals

关键词镀槽基片铜电镀电镀铜发明消耗隔膜阳极酸性

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世界有色金属

2004年第12期

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