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比值采样法在智能薄膜厚度测量仪中的应用

The Application of Ratio Sampling Method in Intelligent Film Thickness Surveying Instrument

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摘要本文介绍比值采样法在薄膜厚度测量仪的应用,详细叙述了测量系统的组成原理和主要单元电路的设计。通过采用比值采样技术,在不采用高性能元件的前提下,提高系统测量精度。

作者俞阿龙

机构地区淮阴师范学院

出处《电工技术》 2002年第10期39-40,共2页 Electric Engineering

关键词智能薄膜厚度测量仪比值采样法单片机测量原理线性化电路薄膜厚度传感器

分类号 TB43 [一般工业技术]

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电工技术

2002年第10期

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