用准分子激光作相移干涉仪照明

德国的科技人员开发一种干涉仪可以改善用于半导体光刻的位相掩模特性。该仪器用ArF准分子激光作照明光源，可拍几张具有不同相关相移掩模的图片，并计算出位相分布。