摘要
在微电子机械系统(MEMS)研究和设计中,微系统数值仿真分析是一个重要研究领域.本文对MEMS 中多种能量场耦合问题的各种数值仿真分析方法进行了综合评述.分析了该领域目前的研究现状并指出了其今后的发展方向.
It is very important to develop numerical simulation methods in the research and design of micro-electro-mechanical systems. This paper reviewed the present numerical methods for the multiple energy-domain coupling simulation in MEMS. The status quo and the future research trends of this field were discussed.
出处
《动力学与控制学报》
2004年第1期70-74,共5页
Journal of Dynamics and Control
基金
中科院力学研究所LNM资助项目(2003002).~~