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微机电系统多场耦合仿真分析 被引量：4

ON THE SIMULATION ANALYSIS OF MIXED-ENERGY DOMAIN FOR MEMS
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摘要 在微电子机械系统(MEMS)研究和设计中,微系统数值仿真分析是一个重要研究领域.本文对MEMS 中多种能量场耦合问题的各种数值仿真分析方法进行了综合评述.分析了该领域目前的研究现状并指出了其今后的发展方向. It is very important to develop numerical simulation methods in the research and design of micro-electro-mechanical systems. This paper reviewed the present numerical methods for the multiple energy-domain coupling simulation in MEMS. The status quo and the future research trends of this field were discussed.
作者 高行山 赵亚溥 吕胜利 邓子辰
机构地区 西北工业大学工程力学系 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室
出处 《动力学与控制学报》 2004年第1期70-74,共5页 Journal of Dynamics and Control
基金 中科院力学研究所LNM资助项目(2003002).~~
关键词 微电子机械系统 能量场耦合 计算机辅助设计 MEMS 建模 仿真分析 有限元 MEMS,mixed-energy domain,numerical simulation
分类号 TP391.9 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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参考文献12

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同被引文献65

引证文献4

二级引证文献25

动力学与控制学报
2004年 第1期

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