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IC业带动半导体清洗设备市场增长

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摘要有数据表明，2003年，全球清洗设备的总体市场为10亿美元，今年有望达到14亿美元，明年将会达到20亿美元以上。而我国集成电路产业的飞速发展，无疑为IC清洗设备提供商带来巨大的市场。为微电子制造提供表面处理设备技术及支持服务的全球性的供应商FSI国际有限公司日前宣布，

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期71-72,共2页 Semiconductor Technology

关键词美元 IC业市场增长集成电路产业提供商供应商 FSI 半导体清洗设备表面处理设备

分类号 TN305.97 [电子电信—物理电子学] F426 [经济管理—产业经济]

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半导体技术

2005年第2期

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