JSR氟化氩光刻胶欲占全球市场40％以上份额

日本合成橡胶公司(JSR)宣布，公司的目标是其半导体用氟化氩(ArF)光刻胶要占到全球市场销售份额的40％以上。为达此目标，该公司将利用开发氟衰减器受激准分子激光(193nm波长)光刻胶获得的材料技术，努力提高光刻胶的透明度。透明的光刻胶有利于生产高分辨率的印制图象。