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布局中国大陆市场 FSI多层次清洗设备和服务提振生产能力

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摘要表面处理是半导体工艺流程中的必要步骤.从半导体生产流程的角度观察,表面清洗和半导体的生产正品率密切相关,晶圆表面若残留颗粒,会导致IC缺陷、降低IC正品率,同时也意味着成本的增加,因此,晶圆厂无不期望正品好的清洗技术、较低的成本和全面的服务,这些正是FSI所能提供的.

作者孙俊杰

出处《电子测试（新电子）》 2005年第1期85-85,共1页 Micro-Electronics

关键词中国大陆市场服务 FSI 生产能力晶圆厂成本多层次 IC 半导体工艺半导体生产

分类号 F426.63 [经济管理—产业经济]

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电子测试（新电子）

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