摘要
本文提出了集成电路制作中值得注意的问题——“超微粒子效应”,论述了超微粒子的性质和作用机理,阐明了高纯水系统中超微粒子的污染及其去除对策,并对超微粒子效应的影响作出有益的评价和探讨。
This article presents the“ultramicronic effect”in IC manufacture,discusses the quality, operating mechanism of ultramicrons,describes the contamination of ultramicrons in high- purity system and the removing method,and gives a practical evaluation for the influence of ultramicronic effect.
出处
《水处理技术》
CAS
CSCD
北大核心
1993年第2期69-74,共6页
Technology of Water Treatment
