摘要
介绍了新型自动化光度法椭圆偏振光谱仪的研制。测试结果表明:仪器对椭偏参数tanΨ的重复性测量精度为±0 0004,cosΔ的重复性测量精度为±0 001,膜厚的相对误差小于0 5%。
The designs of automatic ellipsometer are reported. The experiment results show that the repeatability of (tan Ψ) and cos Δ is 0.000 4 and 0.001 respectively.The relative error of film thickness is less than 0.5%.
出处
《中山大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第1期124-125,128,共3页
Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni
基金
国家自然科学基金资助项目(50372085)
广东省科技计划资助项目(2004B60303001)
中山大学青年教师启动基金资助项目
关键词
偏光谱仪
光度法
硬件
软件
ellipsometer
photometry
hardware
software
