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作者 顾志红
出处 《决策探索》 2005年第1期89-89,共1页 Policy Research & Exploration
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参考文献3

二级参考文献6

  • 1[1]http:// www.instat.com.
  • 2[2]NAGEL D J ZAGHLOUL M E.MEMS:micro technology,mega impact. IEEE Circuits & Device,2001,17(2):14-25.
  • 3[3]http:// www.si-micro.com, http:// www.analog.com,http:// www.draper.com.
  • 4[4]SHAN X C et al. Development of MEMS-based optical switching devices. Proceeding of The International MEMS Workshop 2001, Singapore,2001.
  • 5[5]TOWE E. MicrooptoElectroMechanical Systems (MOEMS) at DARPA overview Briefing, http://www.darpa.mil/MTO/MOEMS/.
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