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离子束成膜技术

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摘要本文简要介绍了几类离子束成膜技术:离子束沉积和外延;离子束辅助沉积和离子蒸发沉积;集团离子束沉积;离子束溅射沉积。

作者郭华聪

机构地区四川大学原子核科学技术研究所

出处《核物理动态》 CAS CSCD 1989年第3期29-32,共4页

关键词离子束溅射离子束辅助沉积蒸发外延

分类号 O484 [理学—固体物理]

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核物理动态

1989年第3期

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