摘要
介绍了声光调制器的光强调制原理及声光调制器在激光直接写入设备中实现光强稳定、连续可调的理论和设计 .该声光调制器采用钼酸铅晶体作为声光介质 ,并给出了具体的结构参数 .该系统曝光所能达到的最小线宽为 0 .6
The principle of acoustooptical modulator is given. The theoretical analysis and design methods for stabilizing and continual modulating laser beam intensity are carried out. The PbMoO 4 is used as acoustooptical material, and the structure parameter of acoustooptical modulator is presented. The width of the finest line we get is 0.6 μm.
出处
《浙江大学学报（工学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第1期53-56,共4页
Journal of Zhejiang University：Engineering Science
基金
国家自然科学基金资助项目 !(5 9472 0 2 0 )
浙江省自然科学基金资助项目! (5 96 0 48)
关键词
声光调制器
激光直接写入
衍射光学
acoustooptical modulator
laser direct write
diffraction optics
