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日本中央玻璃公司欲加大三氟化氮产能被引量：1

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摘要日本中央玻璃公司计划使三氟化氮产能翻番。由目前的300吨，年扩大至600吨/年，三氟化氮气体主要用于1cd和半导体产品工艺中清除灰尘和其他颗粒。据称，中央玻璃公司将投资40亿日元在yamaguchi生产基地建设一座专门生产厂，

出处《有机硅氟资讯》 2005年第1期48-48,共1页 Silicone and Fluorine Information

关键词公司产能中央日元半导体产品生产基地建设生产厂三氟化氮玻璃工艺

分类号 TQ126.26 [化学工程—无机化工] F426.7 [经济管理—产业经济]

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