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激光致晶化非晶态SnSeSbTm薄膜材料的研究

Laser-induced Crystallization of Amorphous Film SnSeSbTm
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摘要 利用 Nd-YAG 激光器对采用物理气相沉积 PVD 方法制备的非晶态 SnSeSbTm 薄膜材料进行了激光晶化处理,晶化后 TEM 表明,薄膜材料由非晶态结构转变成晶态结构,实现了由非晶态到晶态的相变;从相变机理角度阐述了成分差异对相变程度的影响。 Amorphous film SnSeSbTm obtained by vaccum deposition can be crystallized with the pulsed Nd-YAG laser implement.Transmitted Electron Microscopy(TEM)has provided evidence for crystallization.The in- fluence of component diversity on phase changing is discussed in this paper.
作者 陈卓 刘喜明 王佳玲
机构地区 长春工业大学材料科学与工程学院
出处 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期112-113,120,共3页 Materials Reports
基金 吉林省杰出青年基金项目资助(2003128)
关键词 非晶态结构 晶化 相变机理 制备 薄膜材料 研究 成分 物理气相沉积 PVD TEM laser-induced crystallization phase-changeable optical disc laser radiation rate
分类号 TB383 [一般工业技术—材料科学与工程] TQ153 [化学工程—电化学工业]
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共引文献1

材料导报
2005年 第1期

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