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膜状材料的制造技术

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作者 贾连凤 严磊
出处 《日本的科学与技术》 1989年第6期67-73,共7页
关键词 膜状材料 制造 PVD CVD
分类号 TB43 [一般工业技术]
  • 相关文献
日本的科学与技术
1989年 第6期

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