MEMS与智能化微系统

MEMS and intelligentized microsystem

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摘要智能化微系统是MEMS的下一步的发展方向,介绍了几种构成智能微系统的集成方式,分析了微系统在应用、研究中存在的问题。 Intelligentized microsystem is the main development direction of MEMS, Several integration style of structures of intelligentized microsystem were discussed in this paper,and analyzing the problems in the microsystem researching and applications.

作者欧毅陈大鹏

机构地区中科院微电子研究所微细加工与纳米技术实验室

出处《电子工业专用设备》 2005年第1期10-14,共5页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

基金 "973"计划资助项目(2003CB314703 2003CB314704) 国家自然科学基金资助项目(60236010 90207004)

关键词 MEMS CMOS 智能微系统 MEMS COMS Intelligentized microsystem

分类号 TN40 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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