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提高码盘、圆光栅均匀性的研究
被引量：
4
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摘要
随着科技的发展 ,对码盘、圆光栅的线条数、均匀性要求越来越高 ,本文着重对码盘、圆光栅刻制中出现的均匀性问题进行分析 ,找出影响码盘、圆光栅均匀性的主要因素 ,提出了相应的改进措施。
作者
陈赟
张红胜
赵兴国
机构地区
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《计量技术》
2004年第12期17-19,共3页
Measurement Technique
关键词
圆光栅
码盘
改进措施
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
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周翠花,李代学.
光蚀刻不锈钢码盘制作中存在的问题及解决办法[J]
.光电工程,2002,29(2):42-44.
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王之江.光学技术手册.机械工业出版社,1994.
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曹向群.光学刻划技术论文精选.机械工业出版社,1991.
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曹向群,陈林,刘怀道,金彤.刻划照相光刻.上海科学技术出版社,1995.
5
Hiroko Nakamura Tomoyuki Takeishi,Kei Hayasaki,Shinichi ITO.The of Gel Layer Formation during Development on Critical Dimensions.Jpn.J.Appl.Phys.2003,42(1):3917-3921.
6
沈建森.
制造集成电路用的光学仪器[J]
.LSI制造与测试,1992,13(3):10-26.
被引量：1
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2
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吴蒙华,赵家齐,刘晋春,郭永丰.
不锈钢电化学蚀刻方法的初步研究[J]
.电加工,1996(1):27-29.
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2
光致抗蚀剂组.光致抗蚀剂光刻胶[M].北京:科学出版社,1977..
共引文献
7
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赵立新,胡松,王肇志,罗正全.
激光聚焦扫描扇区掩模制作光电码盘新方法[J]
.微细加工技术,2007(6):8-11.
被引量：2
2
代冬军,周翠花,余光清,李代学.
新型金属编码器的三个关键问题[J]
.光电工程,2004,31(B12):101-103.
被引量：6
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张帆,陶坤宇.
空间环境高精度光电轴角测量研究[J]
.应用光学,2008,29(4):614-618.
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傅玉婷,巴俊洲,蒋亚雄,颜飞雪.
研究蚀刻液稳定性的一种方法[J]
.表面技术,2010,39(1):91-92.
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傅玉婷,巴俊州,蒋亚雄,颜飞雪.
蚀刻液稳定性的研究[J]
.舰船防化,2010(3):27-29.
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傅玉婷,颜飞雪,郭建增.
光化学蚀刻中图文转移工艺的研究[J]
.舰船防化,2012(1):1-3.
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陈赟,高胜英,张晰,韩庆阳.
基于铟钢的单层膜平面反射式计量圆光栅的制作[J]
.传感技术学报,2019,32(10):1447-1450.
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喻洪麟,雷冬梅.
一种简单的计算机零位光栅设计方法[J]
.光电工程,2003,30(6):18-20.
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曾向群,刘春华.
零位光栅的一些性能研究[J]
.光学仪器,1994,16(3):20-25.
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汤天瑾,曹向群,林斌.
光电轴角编码器发展现状分析及展望[J]
.光学仪器,2005,27(1):90-95.
被引量：53
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陈赟,孙承浦,何惠阳.
单圈绝对式码盘编码方法的研究[J]
.光子学报,2006,35(3):460-463.
被引量：25
5
金彤.计量光栅光学特性的测试研究[A]..光学刻划技术论文精选[C].北京:机械工业出版社,1991.83-86.
6
张善锺.计量光栅技术[M].北京：机械工业出版社,1985.5-53.
7
马宏,张家田.液晶显示器件应用技术.北京:机械工业出版社,2004.13～85.
8
Jung-Chih Chiao,Chorum Technologies.Liquid-Crystal WDM signal processors.SPIE,2001,4532:54～61.
9
董莉莉,熊经武,万秋华.
光电轴角编码器的发展动态[J]
.光学精密工程,2000,8(2):198-202.
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10
张红胜.
圆光栅均匀性误差的测量[J]
.计量技术,2000(12):22-25.
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4
1
陈赟.
曝光量对计量光栅均匀性的影响[J]
.长春理工大学学报（自然科学版）,2005,28(3):117-119.
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2
陈赟.
自控液晶光阀组式光刻快门研究[J]
.光子学报,2006,35(5):783-786.
被引量：1
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陈赟,赵运隆.
基于VB语言的零位光栅设计[J]
.长春理工大学学报（自然科学版）,2007,30(2):30-32.
4
陈赟.
单圈绝对式码盘的研制[J]
.计量技术,2007(7):31-33.
被引量：1
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6
1
周波,乔付,饶龙,刘忠艳.
基于均值pwm的正弦光栅的设计与分析[J]
.中南大学学报（自然科学版）,2013,44(S1):461-464.
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谢永杰,赵学庆,刘晶儒,王立君.
胆甾相液晶散射光的特性研究[J]
.光子学报,2007,36(10):1867-1871.
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3
张帆,朱衡君.
基于单码道绝对位置编码理论的11位字长旋转编码器设计[J]
.北京交通大学学报,2010,34(3):80-85.
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陈赟,王晓峰,李艳茹.
计量光栅盘真空镀铬机理与工艺研究[J]
.长春理工大学学报（自然科学版）,2011,34(2):1-4.
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5
陈赟,李艳茹,张红胜.
计量圆光栅的制作工艺及质量参数研究[J]
.长春理工大学学报（自然科学版）,2012,35(3):40-43.
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6
王晓峰.
电解加工对金属计量光栅表面粗糙度影响的研究[J]
.长春理工大学学报（自然科学版）,2012,35(3):47-49.
1
韩光荣.
标准钢卷尺的刻制[J]
.计量技术,1991(7):5-6.
2
杨杰,黄楠,杜全兴,游天雪.
血管支架撑开均匀性问题的随机模型研究[J]
.固体力学学报,2008,29(3):217-222.
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.长春理工大学学报（自然科学版）,2005,28(3):117-119.
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邓美华.
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.计量技术,1999(8):12-14.
5
莫德云,马平,弓满锋.
气膜结构对长光栅刻制气浮平台气膜特性的影响[J]
.润滑与密封,2016,41(3):101-106.
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黄渊胜,王长云.
刻度导模设计[J]
.光学技术,2000,26(1):95-96.
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雷杰,林理忠,杨灿珠,普晓云,张建.
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.光电子．激光,1994,5(6):373-375.
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2004年 第12期
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