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电子波器件 被引量:1

Election Wave Devices
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摘要 本文在简要介绍了电子波的概念之后,讨论了利用电子波原理实现高速半导体器件的可能性和条件。作为一个例子,介绍了电子波衍射晶体管的原理、结构、制造和性能。 A brief introduction to the concept of electron wave is made in the paper. The possibility of the application of the electron wave theory to high speed semiconductor devices and the requirements for it are also discussed. As an example,an electron wave diffraction transistor is presented,including its principle,structure,performance and its fabrication techniques.
作者 张汉三
机构地区 电子部第
出处 《微电子学》 CAS CSCD 1993年第6期29-32,共4页 Microelectronics
关键词 电子波器件 微结构 量子干涉效应 Electron wave device, Electron wave dif fraction, Semiconductor microstructure, Quantum interference effect
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