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双极数字/模拟电路的相容工艺探讨

Discussion of Bipolar Digital/Analog Compatible Process Technology

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摘要实验研究了具有代表性的几种双极相容工艺,认为注磷调整法与现行双极工艺相容性好,在3种电路中应用获得成功,本文叙述了这一工艺方法和实验结果。

作者雷培明胡国元段春丽

机构地区航空航天部骊山微电子学研究所

出处《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 1993年第2期38-39,19,共3页 Microelectronics & Computer

关键词双极电路数字/模拟相容工艺 Bipolar Circuit, Digital Analog,Cormpatible Process

分类号 TN792.05 [电子电信—电路与系统]

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微电子学与计算机

1993年第2期

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