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透明电热炉的热工设计

THERMO-ENGINEERING DESIGN OF TRANPARENT FURNACE
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摘要 本文简述了透明电热炉的原理、基本特性及几种主要材料的选择,并引出了一些基本热工设计计算方法。最后,简介了研制结果和使用情况。 The principle, basic characteristics and selection of several main materials of transparent furnace are breifly given. Some methods about basic thermo-engineering design and calculation are also presented. Finally,we introduce the fabrication result of the furnace and it's condition at operation.
作者 袁章其
机构地区 电子工业部第
出处 《微细加工技术》 1993年第2期52-59,共8页 Microfabrication Technology
关键词 透明电热炉 红外线反射 电热炉 热工设计 transparent furnace infrared reflection transparent gold film
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