摘要
本文在简述微机械制造的基础上,通过实例介绍了微机械在电子技术中的应用。
Based on the brief description of micromechanism fabrication, the application of micromechanism in electronic fabrication is introduced- [through detai1 examples.
出处
《微细加工技术》
1993年第4期8-12,共5页
Microfabrication Technology
关键词
微机械
硅
微细加工
制造
集成电路
micromechanismj silicon processing
microfabrication
