被检件外曲率修正因子

CORRECTION FACTOR OF THE OUTSIDE CURVATURE OF THE PARTS INSPECTED

用接触法探测凸面工件时,由于曲率的影响,工件与晶片振子不能完全接触,只能局部通过耦合剂耦合接触,致使传入工件的超声能量减弱,声强降低,工作灵敏度比平探头与平表面耦合时获得的灵敏度低,无法对被检件实施可靠的检测。