摘要
K(Ta,Nb)O_3具有良好的电光特性、非线性光学特性和热释电特性.K(Ta,Nb)O_3薄膜在光电子集成电路中有着良好的应用前景.国外主要是进行K(Ta,Nb)O_3单晶和陶瓷的研究工作,近年来也有制备K(Ta,Nb)O_3薄膜的报导.我们采用溶胶-凝胶法制备KTa_(0.65)Nb_(0.35)O_3薄膜.制备过程如下:把Ta(OC_2H_5)_5,Nb(OC_2H_5)_5和K(OC_2H_5)溶于无水C_2H_5OH 中配成0.
Highly-oriented K(Ta,Nb)O_3 thin film is prepared by Sol-Gel process,usingK(OC_2H_5),Nb(OC_2H_5)_5 and Ta(OC_2H_5)_5 as raw materials.The surface of thin film issmooth,homogeneous,crack-free and dense.
出处
《物理化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
1993年第4期450-451,共2页
Acta Physico-Chimica Sinica
基金
国家"863计划"资助项目
关键词
溶胶-凝胶法
高取向薄膜
Sol-Gel process
K(Ta,Nb)O_3
Oriented thin film
