摘要
介绍了扫描探针显微镜的起源及其发展过程,同时对扫描探针显微镜中最常用的两种:STM、AFM作了原理和结构介绍,最后介绍了SPM探针的形状及其性能数据。
The origin and developing process of the scanning probe microscop es are introduced first. Then the principle and structure of the two most common types, i.e. STM and AFM, are presented. At last the shape and performance data of the probe of SPM are given.
出处
《机械制造》
2005年第2期34-37,共4页
Machinery
基金
高等学校全国优秀博士生学位论文作者专项资金资助项目(编号:200330)
