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采用超紫外线技术制造计算机芯片的原型机问世
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摘要
英特尔、IBM和摩托罗拉公司与美国3个国家实验室合作，最近推出划时代的超紫外线光刻芯片制造设备。
出处
《国外科技动态》
2001年第5期41-41,共1页
Recent Developments in Science & Technology Abroad
关键词
超紫外线技术
计算机芯片
制造设备
原型机
分类号
TN492 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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国外科技动态
2001年 第5期
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