氮气氛下直拉硅棒的机械强度分布被引量：1

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摘要用测试抗弯强度的方法测定了氮气氛下直拉硅(NCZ-Si)棒轴向机械强度分布。与红外分析结果比较表明,含氮 CZ-Si 中 N-N 对的浓度对硅棒强度分布起着比间隙氧更重要的作用。碳浓度达2×10^(17)cm(-3)时,对硅棒强度无显著影响。

作者石志仪谢书银

机构地区中南工业大学

出处《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第1期17-20,共4页 Chinese Journal of Rare Metals

基金高纯硅及硅烷国家实验室基金

关键词 NCZ硅棒机械强度测定

参考文献2

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稀有金属

1993年第1期

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