非晶硅膜氮化动力学分析被引量：1

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摘要在1200℃静态氮化非晶硅膜热重实验基础上,用回归分析方法,按气固相反应理论中几种控速模式,分析探讨了非晶硅氮化动力学模型,得到非晶硅氮化反应前期为界面化学反应控速、中期为界面化学反应与扩散混合控速、后期为扩散控速的三段控速模型,并获得有满意相关系数的氮化各期动力学曲线表达式.

作者孙贵如李立本李文超

机构地区北京有色金属研究总院浙江大学半导体材料研究所北京科技大学

出处《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第4期259-262,共4页 Chinese Journal of Rare Metals

基金高纯硅及硅烷国家重点实验室资助

关键词非晶硅膜氮化动力学分析

同被引文献13

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稀有金属

1993年第4期

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