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MOCVD毒气报警与处理
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摘要
综述了国内外电子气体的监测报警与解毒技术的原理及应用概况。重点论述了适用于 MOCVD工艺装置的监测报警与解毒技术及研究工作的发展与现状。
作者
郭友才
许峰岩
机构地区
化工部光明化工研究所
出处
《稀有金属》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1993年第4期309-314,共6页
Chinese Journal of Rare Metals
关键词
MOCVD
毒气警报器
解毒装置
分类号
TU897 [建筑科学]
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0
1
陆宏波,李欣益,张玮,周大勇,石梦奇,孙利杰,陈开建.
A 2.05 eV AlGaInP sub-cell used in next generation solar cells[J]
.Journal of Semiconductors,2014,35(9):83-86.
被引量:1
稀有金属
1993年 第4期
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