冲电气的首块MEMS芯片亮相

日本冲电气工业公司(Oki)声称制造出世界上最薄的超小型三轴加速度计组件。这只1．4mm厚的MEMS传感器与控制IC集成，形成一个封装器件。该加速度计组件除能测量三轴(X、Y、Z)加速度(±3g)外，还可测量倾角和冲撞力，并能测量倾斜度和振动度，其信号输出为数字式。