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非磁性耐蚀钛合金轴承

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摘要近年来,随着IT技术的进步,半导体的集成度年年增加,纳米级晶片的加工技术和检验技术也越来越重要.在传统的半导体晶片的加工和检验中使用的是激光技术,为了适应高密度化,目前正在开发使用波长更短的电子束的半导体制造设备.

作者张小明

出处《稀有金属快报》 CSCD 2005年第1期40-40,共1页 Rare Metals Letters

关键词半导体晶片半导体制造设备激光技术高密度化集成度电子束纳米级耐蚀钛合金轴承磁性

分类号 TG146.23 [金属学及工艺—金属材料] TN305 [电子电信—物理电子学]

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稀有金属快报

2005年第1期

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