我国第一台150mm砷化镓晶体立式退火炉研制成功

我国第一台150mm砷经镓晶体立式退火炉样机近日在京研制成功，经中科镓英半导体材料有限公司试用证明，样机达到工业化实用技术要求，自此，我国砷化镓材料设备系列中又多了一种填补国内空白的重要成员。