以整形CO2激光脉冲清洁烧蚀石英玻璃

虽然准分子和超快激光技术能够加工石英玻璃，但对于加工大面积、特征尺寸大于10μm的情况，CO2激光的高平均功率和高材料排除速率更实用。通常的CO2激光配置，由于熔融材料的喷射或辐照玻璃的位移．产生表面粗燥。