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NEPTUNE 10 MeV电子直线加速器钛溅射离子泵的故障及其检修

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摘要一、结构原理:钛溅射离子泵是超高真空器件。在结构上它是与电子枪、加速管、偏转盒、靶室密封成一个整体的(见图1)。整个系统处于超高真空状态,而真空是由钛溅射离子泵(型号 PIP1146)提供的,它是电子直线加速器重要部件之一。它的结构是由一个圆柱形阳极,一对钛阴极板(在阳极的两侧各一个),

作者伍锦泉

机构地区中山医科大学肿瘤医院

出处《医疗装备》 1993年第1期31-32,共2页 Medical Equipment

关键词电子加速器钛溅射离子泵维修

分类号 TH772.2 [机械工程—精密仪器及机械]

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医疗装备

1993年第1期

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